（1）覆蓋層厚度大于25μm時，其誤差與覆蓋層厚度近似成正比； 

（2）基體金屬的電導率對測量有影響，它與基體金屬材料成分及熱處理方法有關；

（3）任何一種測厚儀都要求基體金屬有一個臨界厚度，只有大于這個厚度，測量才不會受基體金屬厚度的影響；

（4）探頭接觸面有一定磨損。常用測厚探頭表面為丙烯樹脂，長期使用會使其表面粗糙度增加，導致靈敏度下降，從而造成顯示不正確?？蛇x用 500#砂紙打磨，使其平滑并保證平行度。如仍不穩定，則考慮更換探頭。

（5）試樣的曲率對測量有影響，這種影響將隨曲率半徑的減小明顯地增大；基體金屬和覆蓋層的表面粗糙度影響測量的精度，粗糙度增大，影響增大。